Kategori Produk
Hubungi kami

Haohai Logam Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Alamat:

Plant No.19, TusPark, Century Avenue,

Kota Xianyang, Shaanxi Pro., 712000, Cina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Layanan hotline
029 3358 2330

Berita

Rumah > BeritaKonten

Semikonduktor dengan kemurnian ultra tinggi logam tergagap-gagap Target dan kemurnian tinggi logam tergagap-gagap Target perbedaan?

Semikonduktor dengan kemurnian ultra tinggi logam tergagap-gagap target dan kemurnian tinggi logam tergagap-gagap target perbedaan?

Target sputtering terutama digunakan dalam elektronik dan industri informasi, seperti sirkuit terpadu, Penyimpanan informasi, layar kristal cair, laser memori, perangkat kontrol elektronik, dll. juga dapat diterapkan ke bidang lapisan kaca; juga dapat diterapkan untuk bahan tahan keausan, korosi suhu tinggi, High-end dekoratif persediaan dan industri lainnya.

Klasifikasi menurut bentuk dapat dibagi menjadi panjang target, sasaran persegi, bulat target, target berbentuk dapat dibagi sesuai dengan komposisi logam target, target paduan, keramik target penerapan terbagi menjadi berbeda semikonduktor yang berhubungan dengan target keramik, rekaman menengah keramik target bahan, logam tergagap-gagap target keramik target, target keramik superkonduktor dan raksasa magnetoresistance keramik target diklasifikasikan ke dalam target mikroelektronika, magnetik rekaman target, target optical disk, logam mulia target, target perlawanan film tipis, konduktif film lain elektroda Target, Target paket, masker Target, dekoratif lapisan Target, Target, Target modifikasi permukaan, Target

Bagaimana untuk mengatasi magnetron tergagap-gagap target sasaran pemanfaatan rendah, pengendapan film tidak seragam

Target berputar secara luas digunakan dalam sel surya, arsitektur kaca, kaca mobil, semikonduktor, TV panel datar dan industri lainnya.

Silinder berputar target memiliki tinggi Medan magnet, tinggi target sputtering efisiensi, dan tingkat endapan tinggi film, memungkinkan endapan dari seragam film pada substrat planar luas pada kedua sisi dari target. Pada saat yang sama melalui mekanisme rotasi untuk meningkatkan pemanfaatan target. Target pendinginan lebih memadai, permukaan target dapat menahan tergagap-gagap lebih kuat. logam memercikkan target menggabungkan ini dengan frekuensi menengah dual-target magnetron tergagap-gagap secara signifikan dapat meningkatkan efisiensi produksi sambil mengurangi biaya produksi.

Tergagap-gagap magnetron memiliki banyak keuntungan, tergagap-gagap target tetapi juga tingkat rendah pengendapan logam dan tidak merata etsa permukaan target, tingkat pemanfaatan target rendah dan seterusnya. Seperti pemanfaatan pesawat sasaran target ini umumnya hanya sekitar 20% untuk 30%, mengakibatkan sputtering efisiensi relatif rendah. Untuk beberapa seperti emas, perak, platinum dan beberapa target paduan kemurnian tinggi, seperti persiapan pembuatan ITO film, elektromagnetik film, film superkonduktor, dielektrik film dan film lain kebutuhan logam mulia menargetkan, bagaimana mengatasi magnetron sputtering Target sasaran pemanfaatan rendah, film ini tidak seragam dan kekurangan-kekurangan lain dari pengendapan sangat penting.

Persegi panjang pesawat magnetron memercikkan target target etsa ketidakseimbangan terutama tercermin dalam dua aspek, di satu sisi tidak merata etsa ke arah sasaran lebar, di sisi lain, desain tradisional persegi sputtering target sputtering target pesawat jalan ini ditutup melacak bentuk, dalam target akhir posisi diagonal rentan terhadap fenomena abnormal etching, tetapi juga di ujung target dan koneksi langsung lurus Departemen serius korosi, dan wilayah tengah dangkal etsa, logam tergagap-gagap target dan etching serius bagian selalu diagonal didistribusikan, jadi fenomena disebut juga akhir efek atau efek diagonal. Akhir etsa efek target sangat mengurangi konsistensi kedalaman Selat etching, dan target berputar silinder dapat memecahkan masalah ini dengan baik dan karena itu memiliki tingkat pemanfaatan yang lebih tinggi.