Kategori Produk
Hubungi kami

Haohai Logam Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Alamat:

Plant No.19, TusPark, Century Avenue,

Kota Xianyang, Shaanxi Pro., 712000, Cina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Layanan hotline
029 3358 2330

Berita

Rumah > BeritaKonten

Pedoman dan Tindakan Pencegahan Untuk Menggunakan Target Sputtering Logam

Panduan dan tindakan pencegahan untuk menggunakan Target Sputtering Logam

Pertama, persiapan sputtering

Sangat penting untuk menjaga ruang vakum, terutama sistem sputtering yang bersih. Setiap residu yang dibentuk oleh minyak pelumas dan debu dan pra-lapisan akan mengumpulkan uap air dan kontaminan lainnya, yang secara langsung mempengaruhi tingkat vakum untuk mendapatkan dan meningkatkan kemungkinan kegagalan film. Target Sputtering Logam Sirkuit pendek atau busur awal target, kekasaran permukaan film dan kotoran kimia seringkali terlampaui akibat ruang sputtering yang tidak bersih, sputtering gun dan target yang ditimbulkan. Untuk menjaga komposisi karakteristik lapisan, gas sputtering (argon atau oksigen) harus bersih dan kering, ruang sputtering ke substrat setelah kebutuhan untuk mengekstrak udara untuk mencapai proses vakum yang dibutuhkan. Perisai kawasan gelap, dinding rongga dan permukaan yang berdekatan juga perlu dijaga kebersihannya. Dalam pembersihan ruang vakum, kami merekomendasikan penggunaan metode peledakan bola kaca untuk menangani bagian-bagian kotoran pada waktu yang bersamaan dengan udara bertekanan untuk melepaskan rongga di sekitar residu pra-sputtering, dan kemudian alumina diimpregnasi amplas dengan lembut di permukaan. dari polishing Setelah memoles kasa, kemudian bilas dengan alkohol, Metal Sputtering Targetkan aseton dan air deionisasi, dan merekomendasikan penggunaan penyedot debu industri untuk pembersihan tambahan.

PERHATIAN: Bila menggunakan target, simpan sarung tangan pelindung yang bersih dan tidak terlindungi dan hindari kontak langsung dengan sasaran

Kedua, targetnya bersih

Tujuan pembersihan target adalah untuk menghilangkan debu atau kotoran yang mungkin ada pada permukaan target.

Target logam bisa dibersihkan dengan empat langkah,

Langkah pertama aseton direndam dalam kain lembut bebas serat bersih;

Langkah kedua mirip dengan langkah pertama dengan alkohol;

Langkah ketiga adalah mencuci dengan air deionisasi. Setelah dicuci dengan air deionisasi, target kemudian dimasukkan ke dalam oven dan dikeringkan pada suhu 100 ° C selama 30 menit.

Pembersihan oksida dan pembersihan target keramik dengan "kain bebas serat".

Langkah 4 Setelah mengeluarkan area kotor, Target Sputtering Logam membilas target dengan argon pada tekanan tinggi dan kelembapan rendah untuk menghilangkan semua kotoran yang dapat menyebabkan busur dalam sistem sputtering.

Ketiga, target instalasi

Hal yang paling penting untuk diperhatikan selama pemasangan target adalah memastikan bahwa sambungan termal yang baik terbentuk antara target dan dinding pendingin sputtering gun. Jika kekakuan dinding pendingin parah atau lentur pelat belakang parah, retak atau lentur terjadi saat target dipasang, dan konduktivitas termal target belakang ke target akan sangat terpengaruh, Target Sputtering Logam yang menghasilkan panas dalam proses sputtering Distribusi pada akhirnya akan menghasilkan target cracking atau off target

Untuk memastikan konduktivitas termal yang cukup, lapisan grafit dapat dilapisi antara dinding pendingin katoda dan targetnya. Pastikan untuk memeriksa dan memperjelas kerataan dinding pendinginan sputtering senapan yang digunakan dengan hati-hati sambil memastikan bahwa cincin O selalu dalam posisi.

Karena tingkat kebersihan air pendingin yang digunakan dan kemungkinan kontaminasi peralatan selama pengoperasian peralatan, perlu untuk memeriksa dan membersihkan tangki air pendingin katoda saat memasang target untuk memastikan kelancaran arus. air pendingin dan saluran masuk dan outlet tidak akan terhalang.

Beberapa desain katoda lebih kecil dengan celah anoda, Target Sputtering Logam sehingga pemasangan target perlu memastikan bahwa katoda dan anoda tidak bersentuhan dengan konduktor tidak dapat eksis, jika tidak maka akan menghasilkan hubung singkat.

Lihat petunjuk produsen peralatan untuk informasi tentang cara memasang target dengan benar. Jika Anda tidak memiliki informasi ini di buku petunjuk, mohon ikuti rekomendasi yang diberikan. Saat mengencangkan fixture target, kencangkan dulu baut dengan tangan, lalu kencangkan baut lain pada diagonal, Target Sputtering Logam jadi ulangi sampai setelah memasang semua baut, lalu kencangkan alatnya.